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 產品名稱：XYZ直線電機滑臺 產品概要： -- 直線軸XYZ納米級定位精度； -- 精密交叉滾柱導軌。 -- 主體鋁合金材質 產品精度： -- XY軸重復精度±100nm -- Z軸重復精度±200nm |  產品名稱：XYθ平臺 產品概要： -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺； -- 小行程精密運動場合； 產品精度： -- XY軸重復精度±0.5μm -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec |  產品名稱：耦合平臺 產品概要： -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺； -- 適用光纖耦合； 產品精度： -- XYZ軸重復精度0.3μm -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec |
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